石英陶瓷坩埚生产一般有注浆成型和注凝成型二种工艺技术,厂家一般采用注浆成型工艺,此工艺通俗说类似水泥搅拌浇注振动成型。
注凝成型石英陶瓷坩埚的特点和优势
● 生坯强度高,在生产900型及1100型以上大尺寸坩埚方面具有无可比拟的优势。
● 独特的均质结构和略高的气孔率,使制品热震稳定性好、抗炸裂能力强。
● 独特的表面结构及适度的表面粗糙度,特别适合氮化硅涂层的喷涂,涂层不容易剥落。
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坩埚模具加工精度高、使用寿命长,坩埚尺寸一致性好,壁厚可以根据需要精确控制、上下基本等厚,有利于铸锭过程中热场的合理分布,更能满足铸锭工艺对坩埚外观尺寸的特定要求,提高铸锭质量。
根据多晶硅铸锭的工艺要求,熔制好的硅料在长晶过程中,希望坩埚侧壁有一定的保温效果,并且受热要均匀,所以从理论上讲,侧壁较厚、上下均匀的坩埚有利于硅料的长晶。
由于注凝成型坩埚的特定结构,使得它在铸锭过程中的提纯效果好于注浆成型坩埚,当使用的原料纯度较低时,可以使硅锭中的杂质上浮、中部的硅锭质量得到明显的提升,寿命明显提高。
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